汇众达净化设备专业提供净化工程

    在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在 某一需求范围内的工程学科。

    净化工程所特别设计的房间，不论外在空气前提如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

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乱流式 　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。 层流式 　层流式空气气流运动成一平均之直线型，空气由笼盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式合用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。

    其型式可分为二种： 　　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严峻。 　 (2)垂直层流式：房间天花板*以ULPA过滤器笼盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作职员所产生的尘?？煽焖倥懦鍪彝舛换嵊跋炱渌ぷ髑颉?　

复合式： 　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 　　(1)洁净地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。 　　(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁 净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为相宜使用。药品、食物业界及半导体业界均合用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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