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ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì)，是大多數(shù)半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。通過(guò)優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng) 和超高真空設(shè)計(jì)，提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見(jiàn)雜質(zhì)所需的靈敏度。

　　動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，簡(jiǎn)稱D-SIMS)是一種用于固體材料成分分析的高靈敏度表面分析技術(shù)。

　　工作原理：

　　動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀通過(guò)使用聚焦的高能量一次離子束(如O??、Cs?、Ar?等)轟擊樣品表面，使樣品表面的原子或分子被濺射出來(lái)。在這個(gè)過(guò)程中，部分濺射出的粒子會(huì)帶電，形成二次離子。這些二次離子被收集并傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過(guò)質(zhì)譜分析可以確定樣品的化學(xué)組成和元素分布。

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀



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