美國TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點(diǎn)

時間：2022/6/27閱讀：1447

GasPro™ TEM-200系列濾波器設(shè)計(jì)用于3 nm顆粒截留率高達(dá)200 scfm，且溫度高達(dá)80?C（176F）。ePTFE膜（1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在

316L不銹鋼外殼，具有的流動性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Vitono形圈（其他o形圈材料可在重新測試時獲得）。

TEM-250-24過濾器應(yīng)用

•一般和工藝惰性設(shè)施氣體。

•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣（CDA*），包括

前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）清潔和光刻。

TEM-250-24過濾器規(guī)格

•過濾等級

我們的多孔ePTFE過濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。

•高工作溫度*80°C（176°F）。

建議更換：在69oC（156oF）以上運(yùn)行6個月。

•大工作壓力20°C（68°F）時為17.2 bar（250 psig）。

•大正向流量壓差20oC（68oF）：6.0 bar（87 psi）

80oC（176oF）：4.0 bar（58 psi）

TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點(diǎn)

•電拋光外殼

過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。

•包裝外清潔度

我們的GasPro™ 清潔TEM-200過濾器，并包裝在無塵室內(nèi)，不含有機(jī)物包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度。終組裝已清除使用過濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。

•多種配件選項(xiàng)，便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封，壓縮、對焊和NPT。特殊配件，包括三夾鉗（三葉草）衛(wèi)生和法蘭類型，可根據(jù)要求提供。

•氦泄漏測試

所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測試。

美國TEM-311-24過濾器參數(shù):

我們的多孔ePTFE過濾器提供有效的顆粒滯留3 nm。

高工作溫度* 80°C(176°F)。建議更換:在69C(156F)以上工作6個月。

大工作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。

大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)

一般和工藝惰性設(shè)施氣體，用于半導(dǎo)體，脂肪板顯示和其他高純度應(yīng)用。 G酶用于關(guān)鍵的脂肪板工藝，包括襯底退火。對于關(guān)鍵工藝，包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清洗和光刻，采用稀薄干燥的空氣。

TEM-200零件號和訂購信息

零件號入口/出口配件過濾介質(zhì)/外殼其他材料長度（L）

TEM-215-16 1.0“陽墊圈密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼聚丙烯

氟橡膠®密封*658.4毫米（25.92英寸）

TEM-228-16 1.0“內(nèi)螺紋NPT入口/出口640.1 mm（25.2"）

TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm（25.1"）

TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm（25.1"）

TEM-260-DN50法蘭（詳見圖紙）643.1 mm（25.32"）

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