EZ4小型匀胶机 被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。
EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。
产品简介
详细介绍
产品性能参数:
- 支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圆晶)
- 速度可调范围:100-10000rpm
- 加速度可调范围:100-10000rpm/s
- 转速分辨率:1rpm
- 转速精度:<±5rpm
- 可编程5组5步程序
- 宽电压输入:AC100-230V
产品特性优点:
- 75W 直流无刷电机,单片机控制
- 高清晰文本显示器
- 可单步和多步匀胶操作
- PP耐腐蚀内腔,可更换
- 铝合金阳极氧化外壳,美观大方
- 耐溶剂PC透明盖
- 多角度定位铰链设计
- HDPE真空吸盘
产品外型尺寸:
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)