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Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪
【KALEO MultiWAVE 简介】
Phasics在光学计量领域持续创新，推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差（TWE / RWE）的革命性新产品：Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径高至5.1英寸（130毫米）的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案，拥有*性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度，及动态干涉仪的抗震性能。
【关于Phasics】
Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与*的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器。
一、 Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪主要特点
紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制
单台干涉仪可集成多个工作波长
纳米级相位分辨率
超高动态范围 (>500 条纹数)
二、KALEO MultiWAVE 应用
光学元件及光学系统计量
三、KALEO MultiWAVE 测量案例
四、KALEO MultiWAVE 指标参数(1)
| RMS重复性 (2) | < 0.7 nm (< λ / 900) |
| 测量精度 | 80 nm PV (3) |
| 动态范围（离焦值） | 500 fringes (SFE = 150 μm) |
| 可测反射率范围 | 4% - 100% |
(1) 四英寸口径，使用625 nm光源
(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量，每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值，加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。
(3) 1 µm PV 离焦像差下
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