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高精度微型六维位移台
昊量光电设备有限公司推出的六足位移平台是基于线性平台模组开发的六维运动控制系统。该平台可提供六个自由度控制（XYZ和绕三个轴的旋转）。与常规的六足平台相比该平台，该平台体积更紧凑，拥有较高的刚度和较低的运动质量，并且客户可以自定义虚拟运动轴点。
由于平台均采用?？榛杓疲虼似湓硕叽绾妥饔昧梢愿菪枨蟮牟煌龆ㄖ?，行程可从几厘米到一米，分辨率可达到纳米量级。
产品拥有以下特点：
1）拥有六个自由度
平台是一个并联运动纳米操作系统，不同于常规的堆叠设计，该平台由多个线性平台同时运动驱动。定位器的平行设置优化了整个系统的刚度，并允许控制所有六个自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋转）
2）用户可自定义轴心点
可自由设置轴心点，可绕空间任意一点旋转
3）多选项
高&超高真空兼容
非磁材料
抗紫外线材料
4）高分辨率和重复精度
无反向空回的机械设计使该系统与线性平台有相同的量级的性能，分辨率可达到1nm和1μrad，X,Y,Z的双向可重复性可达到200nm，旋转重复精度可达10μrad，对于小行程重复精度会更高。
上海昊量提供的六维调节架主要包含以下几款产品。
Positioner Series | 70.42 | 115.25 | 110.45 | 225.75 | P-SLC-17 | P-SLC-24 | P-SLL | Wafer-2000 | |
Picture |  |  |  |  |  |  |  |  | |
Travel (mm) | X | 10 | 11 | 20 | 41 | 48 | 79 to 119 | 20 to 1200 | 200 |
Y | 10 | 11 | 20 | 41 | 28 to 48 | 45 to 119 | 45 to 119 | 200 | |
Z | 5 | 5 | 11 | 21 | ≤9 | ≤12 | ≤16 | 10 | |
Rotation(°） | Qx | 14 | 18 | 21 | 20 | ≤28 | ≤31 | ≤42 | 6 |
Qy | 16 | 20 | 24 | 23 | ≤26 | ≤27 | ≤33 | 7 | |
Qz | 28 | 37 | 38 | 41 | ≤20 | ≤42 | ≤42 | 24 | |
repeatability forfull travel range | nm | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 |
μrad | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | |
max. vertical load [N] | 5 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 | 10 | 20 | |
max. horizontal load [N] | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 | 2.5 | 5 | 5 | ||
dimension [mm2] | F70 | F115 | F110 | F225 | 110´50 | 110´90 | 250´80 | 420´430 | |
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