半導(dǎo)體用螺桿真空泵優(yōu)勢：
快速：縮短了抽氣時間，可實現(xiàn)5×10-4 mbar的極限真空
穩(wěn)定：即使在嚴苛工業(yè)應(yīng)用中也能可靠運轉(zhuǎn)
智能：板載控制器，具備廣泛的通信和自動控制功能
經(jīng)濟：可承受的資本投資，低擁有成本
環(huán)保：運轉(zhuǎn)平穩(wěn)安靜，低功率，低水電消耗

螺桿真空泵特征特點：
1. 結(jié)構(gòu)簡單緊湊：對旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結(jié)構(gòu)非常簡單，非常可靠。
2. 抽氣腔原件無摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。
3. 使用壽命長：由于腔內(nèi)部部件之間不摩擦，潤滑油在非氣體過流部分部件中循環(huán)。
4. 真空度高：單臺螺桿干式真空泵可替代三級羅茨泵水環(huán)真空機組。
5. 無污染：無需任何工作介質(zhì)，因此無油污染，無污水。
6. 噪音低：一般情況下為80分貝左右。
7. 適宜抽可凝性氣體（如水蒸氣等）、含粉塵的氣體。
8. 從大氣抽*限壓力5Pa，只要一臺泵就能解決。
9. 干式運行，溶酶回收更容易。
10. 潤滑油在兩端，因此無油耗。
11. 可與羅茨泵組成真空系統(tǒng)，獲得更高的極限真空度和增大抽速。
12. 可與分子泵組成真空系統(tǒng)，真正達到無油環(huán)境。干式螺桿真空泵產(chǎn)品特點：
1.高清潔真空
干式螺桿真空泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)
空氣不會與任何化學(xué)物質(zhì)接觸
不會受到任何污染,氣體回收更方便
2.運轉(zhuǎn)無壓縮
干式螺桿真空泵在工作時沒有任何壓力
運轉(zhuǎn)時空氣就像經(jīng)過一個過道一樣
不會受到任何擠壓,可抽取凝固性氣體
3.適用多種惡劣工作環(huán)境
干式螺桿真空泵的工作腔及轉(zhuǎn)子表面都采用納米鍍膜技術(shù)
(納米鍍瓷、鍍鋁、鍍)
特別適用于制藥、化工工藝中的產(chǎn)品蒸餾、干燥、脫氣等使用場合。
4.無油機組
干式螺桿真空泵不需使用真空泵油，更環(huán)保
可與羅茨泵、分子泵組成無油機組
從而達到更大的流量來滿足更多客戶的需求

螺桿真空泵行業(yè)應(yīng)用：
真空鍍膜、玻璃鍍膜、光學(xué)器件鍍膜、DVD鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、真空包裝、真空搬動、紡織設(shè)備、實驗室、醫(yī)療設(shè)備、氣力輸送、真空烤箱、熱處理、半導(dǎo)體、LED、太陽能、工業(yè)爐、薄膜太陽能、晶硅太陽能、電子束焊接、氣瓶填充。

半導(dǎo)體用螺桿真空泵