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當前位置:> 供求商機> PEPS II-TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

[供應]PEPS II-TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

貨物所在地:北京北京市

產(chǎn)地:美國

更新時間:2024-05-23 13:42:29

有效期:2024年5月23日 -- 2025年5月23日

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TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng),PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎上并對其進行了改進。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個改進的用戶界面。

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II

PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎上并對其進行了改進。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個改進的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機械高度閥和機械高度傳感連桿。其應用包括需要改善穩(wěn)定時間和提高產(chǎn)量的半導體制造設備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實驗室環(huán)境。

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點

●數(shù)字控制,用戶友好的LCD界面

●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動氣動高度控制

Z軸位置重現(xiàn)性:10微米

●由于消除了傳統(tǒng)機械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點,從而改善了隔振效果

●氣動前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運動的反應

●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺引起的運動

●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器,用于主動阻尼垂直隔振器共振

●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運動安裝的情況下加載/卸載晶圓

●相稱的電子閥門?!伴_關"或傳統(tǒng)電子閥不會產(chǎn)生脈沖噪聲

●排氣管用于廢氣的清潔處理

●邏輯??靠刂坪蜖顟B(tài)


規(guī)格

物理尺寸

PEPS II控制器

1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深

重量

PEPS II控制器:約3.0磅(1.2千克)

環(huán)境
(參見EN 61010-1:1993,
EN 61010-1/A2: 1995)

僅限室內(nèi)使用,最高2,000米海拔(6560英尺)
最大允許溫度范圍:5°C至35°C
最大允許濕度:31°C以下時為80%,40°C時線性降至50%相對濕度
主電源電壓容差:85 VAC - 240 VAC
過電壓類別:2
污染等級(IEC 664):2
通風要求:兩側間隙25毫米,上下間隙0毫米

電源要求

電源輸入電壓范圍:90-230 VAC
輸入頻率范圍:50-60 Hz

PEPS II用戶界面
(前面板)

電源開關
4個菜單按鈕
LCD顯示20 x 2個字符
2個診斷插座(BNC型)
三色狀態(tài)指示燈
USB 端口

PEPS II 界面
(后面板)

帶EMI濾波器的交流電源輸入
1個空氣輸入卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道
1個空氣輸出(排氣)卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道
4個空氣卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道(每個隔振器一個)
DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座
1個Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭(垂直接近傳感器)
1個Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭(水平接近傳感器)
接地螺紋螺柱(#10-32螺紋)
DB-25 F插座:1個數(shù)字輸入端,3個地震檢波器傳感器接口(“-VX"選件)
DB-25 F插座:1個數(shù)字輸入端,3個電流輸出接近傳感器(可選)

PEPS II
性能規(guī)格

模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸入(前饋):5 x 12位
(16位使用過采樣),±9 V滿量程
模擬輸入(單極)保護:+5伏,-0.5 V限幅
模擬輸入(前饋)保護:±15伏限幅
模擬輸出:4 x 12位(16位使用采樣),0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出(可選):8 x 16位,0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出保護:無限短路保護,+5伏限幅
數(shù)字輸入電壓額定值:0 ... +3.3 V,+5 V容差(+5伏限幅)
數(shù)字輸出額定值:0 ... + 3.3 V,最大20 mA
數(shù)字I/O保護:+5伏,-0.5伏限幅
外部可用電源:+5 VDC,最大2.0 A;+15 VDC,最大1.0 A(最大20瓦)
通訊端口:USB,在PC上顯示為RS-232
處理器:ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率:100 Hz - 2.0 KHz
接近傳感器:3個垂直、(3個水平可選)渦流,NAMUR 0-20 mA輸出
速度傳感器 - 地震檢波器(“-VX"選件):3個垂直,電流輸出

氣動規(guī)格

長期高度穩(wěn)定性:±50微米
長期傾斜穩(wěn)定性:±50微弧度
伺服閥:4 x 雙向可變節(jié)流孔比例伺服閥
閥門技術:純甲類
最大輸入壓力:120 PSI或8.3巴或830 KPa
標稱耗氣量:60標準升/分鐘(2標準立方英尺/分鐘)
空氣要求:潔凈、干燥的空氣,過濾至20微米或以上
故障安全:隔振器在電源故障或斷電時會放氣
氣動接頭:“一觸式"快速接頭,適用于1/4英寸外徑軟管








性能

TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)




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