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当前位置：上海富瞻环?？萍加邢薰?/a>>>分析仪器>>X射线仪器>> XRD-SDCOM小晶体样品台式X射线单晶定向仪
| 价格区间 | 面议 | 仪器种类 | 双晶衍射 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
在晶圆片的注入和光刻过程中，需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中，晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平面或缺口的位置至关重要。
产品介绍：
技术特点
l 能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品
l 各种样品架及输送夹具，用于线锯、抛光等
l 侧晶方向标记选项
l 无水冷却
l **精度：0.01°(视晶体质量而定)
l 确定单晶的晶格取向
l 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量
l 气冷式X射线管，无需水冷
l 适合于研究和生产质量控制
l 手动操作(没有自动化选项)
可测量材料的例子
? 立方/任意未知方向：Si, Ge, GaAs, GaP, InP
? 立方/特殊取向：Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
? 正方：MgF2, TiO2, SrLaAlO4
? 六方/三角：SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英)，Al2O3(蓝宝石)，GaPO4, La3Ga5SiO14
? 斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3
? 可根据客户的要求进一步选料
平面方向的标记和测量
在晶圆片的注入和光刻过程中，需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中，晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平面或缺口的位置至关重要。
为了确定平面或缺口的位置，就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位，基于此，便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。
DDCOM通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户的特定位置。在必须定义平面方向的情况下，这可以**简化将标记应用到特定平面方向的过程。
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