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可以集成任何自动化或处理系统且适用于环境(研磨、锯切)
紧凑、标准的工业接口
单独的定位测量，可测量平面或圆周
产品介绍：
XRD-OEM的特点
可以集成任何自动化或处理系统且适用于环境(研磨、锯切)
紧凑、标准的工业接口
单独的定位测量，可测量平面或圆周
光学等级检测
解决了行业难题:
如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移而造成定向误差
市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大
将测量过程整合到工业生产中（研磨或锯切）
XRD-OEM适配普遍的打磨设备
无需移动样本即可进行定向，可与打磨产线相结合直接进行在线检测
应用实例
硅锭取向
磨削前对平面和缺口位置的检测
样品直径可达8 "，长度可达40厘米
技术参数
可测量材料：硅，碳化硅，砷化镓及更多
样品尺寸：钢锭直径450毫米
冷却：空气，低噪音
可能的用途：在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准
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上海富瞻环保科技有限公司
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