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当前位置:上海富瞻环??萍加邢薰?/a>>>过程仪器仪表>>工业泵系列>> PDS-105R半导体气动泵
高精度
步进电机驱动设计,重复精度达±0.3% (F.S.)。
结构紧凑
高度260mm (旧型号达330mm),宽度仅50mm (旧型号为60mm)。
节省光刻胶
采用高扭距步进电机驱动,吐出稳定,重复精度高。
无污染
优化管膜片的设计,消除因滑动部件的磨损而产生颗粒的可能性,以及在盲区凝结的可能性。
节省光刻胶
规格
最大吐出量 | 5.0 mL/shot |
吐出速度 | 0.1 ~ 4.0 mL/sec |
吸入速度 | 0.1 ~ 3.0 mL/sec |
最大吐出压力 | 0.15 MPa |
重复精度 | ±0.3 % (F.S.) 或以下 |
主要材质 | PFA, PTFE, PCTFE, Kalrezr 3 |
液体粘度范围 | 200 mPa·s |
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