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深圳市秋山贸易有限公司
主营产品： 抹茶生产线,粉碎研磨珠,口红硬度计 |
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公司信息
日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
| 参考价 | ￥ 10000 |
| 订货量 | 1000台 |
具体成交价以合同协议为准
- 型号
- 品牌 其他品牌
- 厂商性质 代理商
- 所在地 深圳市
更新时间：2024-09-19 15:14:15浏览次数：1546
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日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
加热，板上/下板，板旋转，RF / DC板偏置
可以根据设备配置自由定制，Depo-Up和Down，定制板支架，板旋转/上/下/上/下，倾斜加热和反向溅射等各种功能都包含在该单元中。
各种加热丝：NiCr，石墨，CCC，Inconel，钨，钼，SiC / PBN / PG涂层，卤素灯和其他10种类型
总览基板加热阶段需要加热阶段，例如垂直提升机构（基板支架和加热头中的一个或两个），基板旋转，RF / DC基板偏压（反向飞溅RF / DC清洁）和加热部分倾斜。它是具有多种功能的“多合一”组件。我们可以满足对半导体制造设备和各种真空设备（气相沉积设备，溅射，CVD设备）的所有要求。 | ||
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2寸热舞台_800C
晶圆托盘_提起应用/用例?半导体制造，薄膜的实验设备，RF / DC反溅射，PECVD，RIE等 |
加热部位规格?NiCr加热器 | ||
各部分名称
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日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
