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Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计，量程100g/min, 精度1%。适应于低沸点液体、高粘度液体。
微小液体质量流量控制器LV-F控制液体流量，液体质量流量计LF-F测量液体流量。
畅销型号：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A

Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计

量程100g/min,精度1%

畅销型号：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A。

概要

Horiba微小液体质量流量控制器LV-F、液体质量流量计LF-F，属于在线流量计，用于测量管路流量。

Horiba 微小液体质量流量器LV-F60MO流量计用于控制液体流量，LF-F液体质量流量控制器、LV-F液体质量流量计采用波尔贴原理冷却液体，而非常见的热交换方法。该技术消除了低沸点液体沸腾的风险，实现更低沸点液体的安全控制。

特征

通过采用数字回路，实现了高精度?高速响应。

可以进行微升以上的微小流量控制。

可以对低沸点液体、高粘度液体进行精密的流体控制。

超洁净EP级

选型要求：按以下规格确认型号，并请提供参数：介质名称、量程、接口尺寸。

技术参数

名称	液体质量流量控制器
型号	LV-F20PO/LV-F20MO	LV-F30PO /LV-F30MO	LV-F40PO /LV-F40MO	LV-F50PO /LV-F50MO	LV-F60PO /LV-F60MO
全标度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
标准接头	1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR			1/8"卡套，1/8"VCR	1/4"卡套，1/4"VCR
检测控制范围	5?100% F.S.
对象液体种类*1	可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度*2	max值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度*3	±1% F.S.
直线性*3	±0.5% F.S.
重复性*3	±0.5% F.S.
响应精度	3秒以内(T98)		2秒以内(T98)
使用环境温度*4	5?50℃(15?45℃精度的确保)
温度影响Span	±0.1%F.S./℃　max值±1%
工作差压值*5	0.05?0.3MPa
耐压	1MPa
压力损失	ー
流量设定信号	模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号	模拟：0?5 VDC(min负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
电源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏率	PO类型：1×10-8Pa•m3/s (He) , MO类型：5×10-12Pa•m3/s (He).
接液部材质	PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　 MO类型：SUS316L，Ni

名称	液体质量流量计（不带控制）
型号	LF-F20M-A	LF-F30M-A	LF-F40M-A	LF-F50M-A	LF-F60M-A
全标度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
检测控制范围	5?100% F.S.
对象液体种类*1	可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度*2	max值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度*3	±1% F.S.
直线性*3	±0.5% F.S.
重复性*3	±0.5% F.S.
响应精度	3秒以内(T98)		2秒以内(T98)
使用环境温度*4	5?50℃(15?45℃精度的确保)
温度影響Span	±0.1%F.S./℃　max值±1%
工作差压值值	max值. 5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo控制阀)
耐压	1MPa (视为流量计)
压力損失	max值. 500Pa
流量设定信号	模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号	模拟：0?5 VDC(min负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源	+15 V ±5%, 200 mA；　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材质	SUS316L, Ni
标准接头	1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR			1/8"卡套； 1/8"VCR	1/4"卡套， 1/4"VCR

*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先确定所使用的液体。)
?不能检测含有固体物的液体。
?如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
?LV-F系列质量流量控制器如果在所测液体中含有粒子等时，请在入口端安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以用于粘度值 max 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3：以SEMI E56-1296为准。
*4：进行测量/控制时，如果液体温度低于环境温度，请把温差控制在10℃以内；如果液体温度高于高于环境温度，请把温差控制在3℃以内。

冷却测量方法
Horiba微小液体质量流量控制器LV-F、液体质量流量计LF-F的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升（ΔT），并以流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使精确的流量测量成为可能。

测量原理
Horiba微小液体质量流量控制器LV-F、液体质量流量计LF-F采用相同的测量原理。液体质量流量器LV-F60MO还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统，不会因外部因素而导致流量变化，因此确保了稳定和精确的控制。

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