horiba气体质量流量计SEC-Z552MGX/Z562MGX

高精度，量程0-200SLM、0-500SLM

可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522

可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212  

horiba高精度气体质量流量计Z552MGX/Z562MGX 又称气体质量流量控制器，简称MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量达到期望的设定值，同时反馈实际的流量信号到上位机。

大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z552MGX是一款高稳定性、高精度的MFC，用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中。

国内多回收、二次销售，我公司提供进口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX保证全新进口，终身维修。

产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 可选其他数字通讯：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX

 horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX

产品参数