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UR-Z714M-B horiba数字式压力控制器UR-Z714 IGS 14W3

控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯， IGS接口

畅销型号：UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-B是UR-Z700中的一款，控制该压力控制器前端的压力。

UR-Z700系列是高性能自动压力控制阀配备电子调节阀，带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。

管路接口可选择 IGS 14W3

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模拟输出和RS485通讯

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通讯模式。

horiba数字式压力控制器UR-Z714M-B 14W3

horiba数字式压力控制器UR-Z714M-B 14W3

产品性能:

· 分两种应用：入口控制型（-M-B 型）和出口控制型

· 消除大流量气路切换引起的串扰影响（出口控制型）

· 快速响应：0.5 秒内

· 灵活的设计：可以安装在任何位置，适用于各种气体供应系统

· 进气压力多种选择：表压、绝对压力

· 符合 RoHS 标准（UR-Z704 系列）

· 超洁净：全金属结构

horiba数字式压力控制器UR-Z712

参数表

产品背面图

产品安装孔图

周边产品

Horiba品牌介绍

HORIBA是全球著名的半导体设备供应商，主要提供气体质量流量控制器、液体质量流量控制器、压力控制器、汽化器。在半导体设备PECVD、MOCVD、Etch等关键工艺有非常广泛的应用。

畅销型号

数字型质量流量控制器： SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、

低成本数字型质量流量控制器：SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM

模拟型质量流量控制器：SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。

液体质量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、

液体质量流量计LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。