horiba高精度气体质量流量计Z524/Z534/SEC-Z514

小量程0-2sccm，大量程0-50SLM
高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)
数字通讯：DeviceNet

horiba高精度气体质量流量计Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

销售型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

horiba高精度气体质量流量计Z524 又称气体质量流量控制器，简称MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量达到期望的设定值，同时反馈实际的流量信号到上位机。

大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z524是一款高稳定性、高精度的MFC，用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，

我公司提供进口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，

保证全新进口，终身维修。

产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 可选其他数字通讯：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。

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产品参数

规格-数字-模拟转换模式

型号^*1	SEC-Z512、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全标准流量 (N2 转换流量)	1/2SCCM	10SCCM-10SLPM	10-50SLM
阀门类型	O: 通常打开 C: 通常关闭
关闭控制阀时的流量	≤ 2% F.S.
流量测量范围	0-100% of F.S.
精确性^*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作温度	5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)
响应	≤ 1 秒:超过全流量范围
直线性	≤ ±0.5% F.S.
反复性	≤ ±0.2% F.S.
工作压差值	≤ 300 kPa (d)
zui大工作压力	450 kPa (g)
耐压	1000 kPa (g)
外部泄漏率	≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量设定信号	0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高
流量输出信号	0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高
数字界面	地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)
	F-Net 协议,DevceNet
接液部材质	316L 不锈钢(表面抛光)
电源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信号反应	模拟: D-Sub 9-pin (TOP)
	数字: 2 LAN jacks (TOP)
标准接头^*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可选1.125 inch IGS
安装方向	自由

^*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
^*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
^*3IGS: 完整气体系统
^*SCCM 和 SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

订购注意：

请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

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