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当前位置：> 供求商机> Horiba 质量流量控制器 SEC-N100系列
特征
大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多种通讯方式及电源供给
Horiba 质量流量控制器 SEC-N100系列
n数字式/ 模拟式通信
lRS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压）
l可与其它系列产品兼容
n复合气体 / 复合量程
l可以方便的在客户端更改对应气体和量程
n高精度控制： ±1.0% 设定流量.
l选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
n快速响应： 在可控流量范围内,响应时间≦1 sec
l内置PID参数，可以调整响应时间
n气阀种类
l 电磁阀 (~50SLM)
l 压电陶瓷阀 (100/200SLM)
n密封圈材质 ：橡胶 或 金属
n气路表面 ： 未经抛光处理
n接口 ： 仅有VCR接口
nRoHS要求： 满足RoHS要求
Horiba 质量流量控制器 SEC-N100系列
型号 | 选择通讯方式 | 选择供电方式 |
SEC-N102 系列 | 数字式信号传输 ?RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供应电源 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通讯 | 符合ODVA标准 |
SEC-N105 系列 | CC-Link®通讯 模拟式通讯 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通讯方式 |
|
模拟式通讯 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT® 通讯方式 | 符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4V |
高精度：±1.0% S.P. (*1)
1秒内快速响应 (*1)
多气体，多量程解决方案
(*1)包括SEC-N17XR
多气体，多量程的功能可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。
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