当前位置:> 供求商机> SEC-Z522、Z524-Horiba数字式质量流量计
畅销型号:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。
国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
产品概述:
Horiba Z522、Z524高品质数字式质量流量计属于SEC-500X系列,高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,国内多回收、二次销售,我公司提供进口Z514、Z524,保修期1年。
Horiba Z522、Z524高品质数字式质量流量计产品特点:
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1秒 (全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
8) 气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型);SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)。
产品参数:
规格-数字-模拟转换模式 | ||||
型号*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
全标准流量(N2 转换流量) | 1/2SCCM | 10SCCM-10SLPM | 10-50SLM | |
阀门类型 | O: 通常打开 C: 通常关闭 | |||
关闭控制阀时的流量 | ≤ 2% F.S. | |||
流量测量范围 | 0-100% of F.S. | |||
精确性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
工作温度 | 5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C) | |||
响应 | ≤ 1 秒:超过全流量范围 | |||
直线性 | ≤ ±0.5% F.S. | |||
反复性 | ≤ ±0.2% F.S. | |||
工作压差值 | ≤ 300 kPa (d) | |||
zui大工作压力 | 450 kPa (g) | |||
耐压 | 1000 kPa (g) | |||
外部泄漏率 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | |||
流量设定信号 | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高 | |||
流量输出信号 | 0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高 | |||
数字界面 | 地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps) | |||
F-Net 协议,DevceNet | ||||
接液部材质 | 316L 不锈钢(表面抛光) | |||
电源 | +15V±5% 150mA | |||
-15V±5% 150mA | ||||
信号反应 | 模拟: D-Sub 9-pin (TOP) | |||
数字: 2 LAN jacks (TOP) | ||||
标准接头*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可选1.125 inch IGS | |||
安装方向 | 自由 | |||
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 *2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。 *3IGS:完整气体系统。 *SCCM和SLM是表示气体流量的记号。(mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)。 |
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器。
进口数字型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。
进口低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
进口低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S,omega FMA1815S。
国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32。
国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M
配套的阀门管件:韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,美国Valex不锈钢管,1/4"EP级不锈钢管、3/8"EP级不锈钢管、1/2"EP级不锈钢管。
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