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上海进佳科学仪器有限公司
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Horiba Z514 Z512高品质数字式质量流量计
  • Horiba Z514 Z512高品质数字式质量流量计

货物所在地:上海上海市

地: 日本

更新时间:2025-01-29 21:00:07

浏览次数:1022

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( 联系我们,请说明是在 化工仪器网 上看到的信息,谢谢?。?/p>

日本horiba进口,稳定性好,0.3%高精度,客户可更改量程
畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

Horiba Z514 Z512高品质数字式质量流量计

                     高精度,高稳定性,可改量程

畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512SEC-Z522。

可选低成本数字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGMSEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM

可选低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60SEC-E40MK3。

国内组装模拟型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212      

产品概述

日本horiba Z514、Z524数字式质量流量控制器属于SEC-500X系列,高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中,国内多回收、二次销售,我公司提供进口Z514、Z524,保修期1年。

Horiba Z514 Z512高品质数字式质量流量计

产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1(全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)

 SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

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Horiba Z514 Z512高品质数字式质量流量计

产品参数

规格-数字-模拟转换模式 

型号*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全标准流量
(N2 转换流量)

1/2SCCM


10SCCM-10SLPM

10-50SLM

阀门类型

O: 通常打开 C: 通常关闭

关闭控制阀时的流量

≤ 2% F.S.

流量测量范围

0-100% of F.S.

精确性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作温度

5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)

响应

≤ 1 :超过全流量范围

直线性

≤ ±0.5% F.S.

反复性

≤ ±0.2% F.S.

工作压差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作压力

450 kPa (g)

耐压

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量设定信号

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高

流量输出信号

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高

数字界面

地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)

F-Net 协议,DevceNet

接液部材质

316L 不锈钢(表面抛光)

电源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信号反应

模拟: D-Sub 9-pin (TOP)

数字: 2 LAN jacks (TOP)

标准接头*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可选1.125 inch IGS

安装方向

自由

 

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。
*2流量精度保证温度符合 SEMI E56-1296 标准。精度是联合全范围MR以及MG数字值。
*3IGS: 完整气体系统
*SCCM SLM 是表示气体流量的记号。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

订购注意:

 请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

如是设备备件的更换,请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。



 

本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器

进口数字型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGMSEC-Z534MG、SEC-Z516MG

进口低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

进口低成本模拟型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60SEC-E40MK3、SEC-E40VSEC-E50Vkolfoc 3760、GFC17SGFC37S、GFM47SGFC57S、GFC67S、GFC77Somega FMA1815S、

国内组装模拟型:Horiba S48 28horiba S48 32、

国内组装数字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212S500BM212。

Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 POLV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MOLV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50MLF-F60M

配套的阀门管件:韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P、1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GTS4MN、S4FN

美国Valex不锈钢管,1/4"EP级不锈钢管、3/8"EP级不锈钢管、1/2"EP级不锈钢管。

 

 

 

 


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