原装HORIBA 控制器SEC-8000SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器


气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80?100℃

原装HORIBA 控制器SEC-8000

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温：可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型：接气部全不锈钢构造MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温：可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型：接气部全不锈钢构造MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

原装HORIBA 控制器SEC-8000