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XL-80：XL-80全新轻型激光干涉仪

雷尼绍XL-80激光干涉仪为坐标测量机 (CMM) 和机床等运动系统提供高性能测量和校准。

精度和动态性能

准确稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了±0.5 ppm的线性测量精度?？梢愿叽?0 kHz频率读取数据，高线性测量速度可达4 m/s，即使在高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项（不只是线性）均采用干涉法测量，使您对记录数据的精度有信心。

XL-80激光干涉仪装置：

XL-80激光头可以产生非常稳定的激光光束，采用的波长可溯源至国家和标准。

特性与优点

• 激光稳频精度通过热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内，达到3年内精度保持在±0.05 ppm（百万分之一）。
• 线性测量精度在整个环境范围内，即从0 ºC - 40 ºC（32 ºF - 104 ºF）和650毫巴 - 1150毫巴的范围内，精度为±0.5 ppm。可以高达50 kHZ频率读取数据，高线性测量速度可达4 m/s，即使在高速度下线性分辨率仍可达1 nm。
• 仪器内置的USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。
• 激光头前部的一排LED状态指示灯显示激光状态和信号强度，相当于将屏幕软件上的“状态显示”扩展到激光头上。
• 可以在标准 (40 m) 和长 (80 m) 距离模式之间切换。
• 模拟I/O端口允许模拟信号输出和触发信号输入。
• 预热时间少于6分钟。
• 外接开关电源允许输入电压在90V - 264 V之间变化。
• CARTO软件可以进行线性、角度、回转轴、直线度和垂直度测量。其他测量模式则需要使用LaserXL。

规格 公制 英制:
线性测量长度范围* 0 m – 80 m 0 in – 3200 in
测量精度
（利用XC-80补偿器）
±0.5 ppm
(±0.5µm/m)
分辨率 0.001 µm 0.1 µin
* 0 m - 40 m（标准）。
线性（上述）和其他测量模式的性能规格的置信度达到95% (k = 2)，并在整个环境工作范围内有效。

规格 公制 英制
轴向量程 0 m - 15 m 0 in - 590 in
角度测量范围 ±175 mm/m ±10°
角度精度
角度精度（已校准）
±0.002A ±0.5 ±0.1M微弧度
±0.0002A ±0.5 ±0.1M微弧度*
±0.002A ±0.1 ±0.007F角秒
±0.0002A ±0.1 ±0.007F角秒
分辨率 0.1 µm/m 0.01角秒
* 温度范围： 20 °C ±5 °C
A = 显示的角度读数 M = 以米计的测量距离 F = 以英尺计的测量距离

规格 公制 英制
轴向量程 （短距离）
（长距离）
0.1 m - 4.0 m
1 m - 30 m
4 in - 160 in
40 in - 1200 in
直线度测量范围 ±2.5 mm ±0.1 in
精度 （短距离）
（长距离） ‡
±0.005A ±0.5 ±0.15 M2 µm
±0.025A ±5 ±0.015 M2 µm
±0.005A ± 20 ±0.5 F2 µin
±0.025A ±200 ±0.05 F2 µin
分辨率 （短距离）
（长距离）
0.01 µm
0.1 µm
1 µin
10 µin
A = 显示的直线度读数
M = 以米计的测量距离； F = 以英尺计的测量距离；
‡ 视环境条件而定


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