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API XD激光干涉仪工件测量方法信息
阅读：162 发布时间：2025-7-3直线度测量—API XD的方法应用的PSD技术 (光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号) 不怕断光，可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪) 对直线度进行1:1的测量可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速
垂直度测量—API XD的方法 API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错
偏摆角/俯仰角测量—API XD的方法的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；如果轴有角度变化，则光线会在焦平面上的PSD 光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试不受滚动角的影响，调整光路容易、精确