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    單層壓電彎曲微CAMOZZI執(zhí)行器的非線(xiàn)性靜態(tài)

    2016-12-19  閱讀(706)

    單層壓電彎曲微CAMOZZI執(zhí)行器的非線(xiàn)性靜態(tài)
    采用偶應(yīng)力理論對(duì)單層壓電懸臂梁式微CAMOZZI執(zhí)行器在強(qiáng)外加電場(chǎng)作用下的非線(xiàn)性靜態(tài)特征進(jìn)行了研究.懸臂式CAMOZZI執(zhí)行器包括壓電層、被動(dòng)(彈性)層和2個(gè)電極層.首先,采用瑞利-里茲方法分析了在強(qiáng)外加電場(chǎng)作用下由于壓電層電致伸縮效應(yīng)引起的CAMOZZI執(zhí)行器非線(xiàn)性靜態(tài)特性.其次,由于懸臂CAMOZZI執(zhí)行器的厚度在μm量級(jí),存在變形尺度效應(yīng),采用偶應(yīng)力理論對(duì)變形的尺度效應(yīng)進(jìn)行了分析.分析結(jié)果表明:懸臂CAMOZZI執(zhí)行器的非線(xiàn)性隨著外加電場(chǎng)強(qiáng)度的增大而增大,當(dāng)外加電場(chǎng)很大時(shí),出現(xiàn)剛度軟化現(xiàn)象;而且,CAMOZZI執(zhí)行器被動(dòng)層和壓電層厚度比的*值不是通常采用的1.0.在微尺度下,由于微梁變形存在尺度效應(yīng),該厚度比的*值應(yīng)比1.0大.在MEMSCAMOZZI執(zhí)行器的設(shè)計(jì)中,求出準(zhǔn)確的pull-in參數(shù)是至關(guān)重要的。在過(guò)去的研究中,在準(zhǔn)靜態(tài)假設(shè)下,電壓控制的MEMS微CAMOZZI執(zhí)行器的pull-in模型已經(jīng)被提出,并且還提出了一些拓寬微CAMOZZI執(zhí)行器穩(wěn)定行程的方法。在動(dòng)態(tài)條件下,電壓控制的MEMS微CAMOZZI執(zhí)行器的pull-in模型也已經(jīng)被提出。但是,還沒(méi)有人研究如何提高微CAMOZZI執(zhí)行器動(dòng)態(tài)穩(wěn)定行程。采用串聯(lián)電容的方法來(lái)拓寬MEMSCAMOZZI執(zhí)行器的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定行程,提出了串聯(lián)電容后的動(dòng)態(tài)pull-in模型。zui后,采用數(shù)值解法模擬了串聯(lián)電容后的動(dòng)態(tài)pull-in現(xiàn)象,并同時(shí)考慮了阻尼的影響。為避免智能電動(dòng)閥門(mén)CAMOZZI執(zhí)行器由于負(fù)載扭矩超過(guò)額定值而導(dǎo)致的閥門(mén)或CAMOZZI執(zhí)行器損壞,提出了一種可變電感式扭矩測(cè)量系統(tǒng)。

    單層壓電彎曲微CAMOZZI執(zhí)行器的非線(xiàn)性靜態(tài)
    該系統(tǒng)采用機(jī)電一體化的可變電感式扭矩傳感器,實(shí)時(shí)、測(cè)量CAMOZZI執(zhí)行器工作時(shí)的扭矩,并通過(guò)CAMOZZI執(zhí)行器內(nèi)置的微處理器對(duì)CAMOZZI執(zhí)行器動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)對(duì)CAMOZZI執(zhí)行器或閥門(mén)的扭矩過(guò)載保護(hù)。



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