 |
上海申思特自動(dòng)化設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)E E傳感器,美國(guó)E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風(fēng),丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門(mén)傳感器 |
會(huì)員.png)
10
聯(lián)系電話
|
上海申思特自動(dòng)化設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)E E傳感器,美國(guó)E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風(fēng),丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門(mén)傳感器 |
聯(lián)系電話
2016-12-16 閱讀(628)
濺射薄膜式E+E壓力傳感器可靠性研究
濺射薄膜式E+E壓力傳感器具有*的耐惡劣環(huán)境性能,已成為中高壓力測(cè)量的主力傳感器,廣泛應(yīng)用于電力、機(jī)械、冶金、能源等領(lǐng)域的壓力測(cè)量。濺射薄膜式E+E壓力傳感器設(shè)計(jì)因素復(fù)雜,包含多種新型工藝,影響其可靠性的不確定因素眾多。
濺射薄膜式E+E壓力傳感器可靠性研究
因此,如何通過(guò)可靠性設(shè)計(jì)、分析、試驗(yàn)對(duì)其可靠性進(jìn)行研究,是濺射薄膜式E+E壓力傳感器研究與應(yīng)用中的關(guān)鍵問(wèn)題之一。針對(duì)濺射薄膜式E+E壓力傳感器的可靠性開(kāi)展研究,建立傳感器可靠性綜合評(píng)價(jià)方法,分別從彈性膜片結(jié)構(gòu)、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能三方面研究提高傳感器可靠性的技術(shù)途徑,為優(yōu)化傳感器的設(shè)計(jì)和工藝提供支持。主要研究?jī)?nèi)容與成果如下：運(yùn)用基于層次分析的模糊綜合評(píng)價(jià)方法實(shí)現(xiàn)傳感器可靠性的綜合評(píng)價(jià),并通過(guò)分析找出影響傳感器可靠性的關(guān)鍵因素—彈性膜片結(jié)構(gòu)、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能。對(duì)濺射薄膜式E+E壓力傳感器的敏感彈性膜片進(jìn)行理論分析和設(shè)計(jì),并應(yīng)用有限元方法對(duì)膜片進(jìn)行應(yīng)力應(yīng)變分析,對(duì)膜片設(shè)計(jì)參數(shù)進(jìn)行驗(yàn)證。利用正交試驗(yàn)對(duì)敏感芯片絕緣膜的工藝參數(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究,通過(guò)方差分析找出影響絕緣性能的顯著因子,在此基礎(chǔ)上對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,改善絕緣膜的鍍制工藝過(guò)程,提高敏感芯片的絕緣性能。針對(duì)濺射薄膜式E+E壓力傳感器的超差故障實(shí)例,利用故障樹(shù)分析和故障復(fù)現(xiàn)試驗(yàn)確定故障原因,分析傳感器的靜電作用機(jī)理,并分別提出設(shè)計(jì)、制造、使用過(guò)程的靜電防護(hù)措施。綜上所述,針對(duì)濺射薄膜式E+E壓力傳感器的可靠性問(wèn)題,系統(tǒng)研究傳感器可靠性綜合評(píng)價(jià)及優(yōu)化方法,對(duì)于我國(guó)濺射薄膜式E+E壓力傳感器的研究與應(yīng)用具有重要的理論與工程意義。
