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二手 牛津 EDX X-MaX能谱仪也称为能量色散X射线谱EDX，是一种定性和定量的X射线微束分析技术，可以检测原子序数(Z) >3的元素信息，尽管对于特定的样品和设备配置，原子序数(Z) =3，锂元素的检锂元素的检测也是可以实现的。

二手 牛津 EDX X-MaX能谱仪的数据输出形式通常是一个能谱图。能谱图以横坐标表示能量，纵坐标表示强度或计数。它展示了不同能量处的光子或电子的分布情况，可以反映样品中元素的特征能量峰。此外，EDS 数据还可以包括定量分析结果（元素的含量百分比等），以及元素分布图（线扫描和面扫描）。具体的输出形式可能会因使用的仪器和软件而有所差异。

图2 EDS谱图。特征X射线形成叠加在轫致辐射X射线上的峰，可通过它来识别样品中的元素。

二手 牛津 EDX X-MaX能谱仪样品是由原子组成的。当入射电子束聚焦在样品上时，它们穿透样品并与构成样品材料的原子相互作用。在SEM中，来自入射电子束的电子在样品中扩散，形成相互作用体积。相互作用体积的大小取决于入射电子束的加速电压和样品的平均原子序数(或密度)。加速电压越大，相互作用体积越大，但平均原子序数越高的样品，相互作用体积越小。

在SEM中，二次电子是从样品表面或相互作用体积的顶部产生的；背散射的电子来自相互作用体积的上半部分；X射线产生于整个相互作用体积内。因此，SEM中X射线显微分析的典型空间分辨率是微米数量级。

能谱仪60秒内即可完成全谱面分析采集；多种报告输出方式；64位多任务能谱分析软件；界面中有五个功能?？?，每个都清楚的显示采集步骤；能谱仪最高分辨率可达到2048；可同时保存二次电子像（SE）和背散射电子像（BSE）；可以对点、矩形区域、椭圆形区域以及自定义区域进行采集；能谱仪根据线上点的数量或点与点的间距定义线扫描；自动采集整条线的X射线谱图；可以在一个视场内进行多条线扫描；自动标识元素；无标样定量；和峰修正；快速简便的报告模版功能；能谱仪多种供选择的模版；以Microsoft Word格式输出。