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产品简介
| 背散射电子图像分辨率 | 4.0nm@30KV | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 二次电子图象分辨率 | 3.0nm @ 30KV WD 8mmnm | 放大倍数 | ×5~×300,000x |
| 加速电压 | 0.5KV ~ 30KVkV | 价格区间 | 50万-100万 |
| 仪器种类 | 热场发射 | 应用领域 | 化工,地矿,能源,电子/电池,道路/轨道/船舶 |
详细介绍
二手蔡司场发射电镜，蔡司SUPRA 40VP原理介绍
扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。随着我国经济的迅速发展，高校、科研单位、企业等大量引进了场发射扫描电子显微镜。但是在扫描电子显微镜的使用过程中，特别是在安装初期，使用者通常由于对电镜的运行状态缺乏系统认识，经?；嵊龅饺砑阑?、样品台被卡、真空问题等多种故障。解决方式一般为请维修工程师上门维修，除花费时间和费用外，也造成了对电镜操作者的心里束缚。笔者以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例，从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结了热场发射扫描电子显微镜运行状态的几种检查方法和维护保养经验，并结合故障实例进行了分析
查看环境条件
扫描电子显微镜的使用环境条件主要涉及温度、湿度、震动、磁场强度、接地等几个因素。一般情况下，环境温度需控制在22～25℃，相对湿度以小于70%为宜，保证实验室清洁整齐，避免大声喧哗及震动、磁场的干扰。温湿度控制需配备空调和除湿机，特别是在南方地区一定要保证对湿度的控制，避免温湿度对电镜电子部件的影响。由于场发射扫描电子显微镜的分辨率较高，对震动和磁场强度的要求也较高，所以需尽量避免震动和杂散磁场的干扰。一般在安装时，建议将电镜放置在楼体一层，远离输电线路、大功率设备等，并做防震地基和独立地线设置。电镜地线要求必须是独立地线，即接地体到接线端子均独立，避免地线连接到公共接地体。在使用过程中，若周围有杂散磁场，在大倍数观察时图像会出现纵或横条纹干扰。总之，日常使用过程中要严格控制电镜的环境条件。以ULTRAPLUS扫描电子显微镜为例，环境条件要求如下：温度保持在21～25℃，相对湿度小于65%，磁场强度小于3×10－7T，噪声强度小于65dB，独立地线的接地电阻小于0.1Ω。
检查光学系统
电子光学系统是由电子枪、电磁透镜、扫描线圈组成的，也是扫描电子显微镜的核心部分。为保证电子束沿这些部件的轴线穿行，必须调节这些部件合轴，即光阑对中。而电镜初学者往往一味地进行调焦、变倍操作，可是得到的图像仍不清楚，于是怀疑电镜出现故障。下面将就从光阑对中、物镜消像散、查看电子束束流和灯丝寿命情况这几个方面进行阐述，以便进一步了解电镜的性能，做好电镜的日常维护保养工作。
（1）检查光阑对中。在更换试样、调整加速电压和探测器类型时需检查光阑是否对中。具体操作方法是打开调焦摇摆功能，查看高倍数下电子图像是否上下左右摆动，若摆动则调节光阑对中按钮，直至图像仅出现上下摆动。
（2）检查像散情况。像散是电子光学系统中所形成的磁场或静电场不能满足轴对称要求时产生的。图像聚焦和消像散是图片质量的重要保证。若反复聚焦后图像仍不清晰，在欠焦和过焦时垂直方向上出现模糊并拉长的现象，则说明有像散存在，需要调节像散。正常情况下也会出现像散，可通过观察状态栏中的像散值查看是否处于正常状态。若X或Y 轴的像散值小于30%，则说明像散处于正常状态；若像散值大于30%，则说明像散处于非正常状态。产生像散的原因是多方面的，如透镜材料不均匀、极靴孔之间对中不好以及加工精度影响等，而电镜在使用过程中电子通道周围部分被污染而带电是产生像散的主要原因。以ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例，其电子通道的污染会形成一个局部的静电场，干扰电子束的正常聚焦。虽然电镜中设置八极电磁式消像散器，可产生一个弱的校正磁场，但其作用是有限的。若电子通道污染，则需清洗光阑和其他电子束通道部位来消除像散。
检查真空系统
电镜中的真空系统一般由真空泵、管道、和真空测量装置组成。高真空度可减少电子与气体分子的碰撞，增加灯丝寿命，所以必须高度关注真空系统，定期记录系统真空和枪真空数值，或是打开真空监控器（Gun Monitor）实时监控真空值。对于ULTRA PLUS扫描电子显微镜，需保证系统真空值不小于5.0×10－4Pa，枪真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常状态需进行必要的检查和维护保养，如检查各真空系统部件或进行烘烤操作，具体方法如下：
（1）观察真空装置的启动顺序及启动时间。ULTRA PLUS扫描电子显微镜真空的启动顺序为机械泵潘宁规、离子泵。一般换试样抽真空时间为3min。如时间过长，需检查真空装置是否为异常启动情况。
（2）判断分子泵前级泵的工作状态。定期查看分子泵的功率状态，操作方法为：打开分子泵控制器，查看分子泵功率，若小于10W，则分子泵前级泵（机械干泵）无过多附加阻力，为正常状态；否则，说明前级泵存在过多负载。
（3）机械干泵的维护?；蹈杀弥忻芊馊ξ缀钠?，随着机械摩擦时间的增加，密封圈变小，给分子泵带来过多负载，抽真空时间变长。一般情况下，机械干泵的维护需在1～2a（年）内进行，即更换密封圈。
二手蔡司场发射电镜，蔡司SUPRA 40VP应用范围
场发射扫描电子显微镜，广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析?？梢怨鄄旌图觳夥蔷嘤谢牧?、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。该仪器的最大特点是具备超高分辨扫描图像观察能力，尤其是采用新数字化图像处理技术，提供高倍数、高分辨扫描图像，并能即时打印或存盘输出，是纳米材料粒径测试和形貌观察仪器。也是研究材料结构与性能关系所重要工具。
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