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技術(shù)文章

探針式臺(tái)階儀的功能及應(yīng)用

閱讀:2877          發(fā)布時(shí)間:2020-5-9

探針式臺(tái)階儀的功能及應(yīng)用

探針式輪廓儀(臺(tái)階儀)主要用于材料的結(jié)構(gòu)及表面解析,在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域大顯身手。

同時(shí)按照應(yīng)用的領(lǐng)域不同,要求不同,臺(tái)階儀的型號(hào)也多種多樣,下面以我們優(yōu)尼康提供的一款型號(hào)為P-17的臺(tái)階儀為例,簡單介紹下這款儀器的功能以及應(yīng)用,以供大家參考了解臺(tái)階儀可以做什么,有哪些功能,該型號(hào)為常用款,如有更高需求也可以咨詢我們,會(huì)為大家更合適的機(jī)臺(tái)。

主要功能有:


·臺(tái)階高度:幾納米至1000μm
·微力恒力控制:0.03至50mg
·樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
·視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)
·圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·軟件:簡單易用的軟件界面
·生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

 

主要應(yīng)用:

·臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度

·紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

·形狀:2D和3D翹曲和形狀

·應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

·缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌

 

工業(yè)應(yīng)用


·大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
·半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
·LED:發(fā)光二極管
·太陽能
·MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
·數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
·汽車
·醫(yī)療設(shè)備
·還有更多,請(qǐng)與我們聯(lián)系以滿足您的要求

 

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