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产品简介
OG系列臭氧发生器采用电晕放电原理，产生高浓度臭氧气体。
详细介绍
应用：CVDALD氧化物生长表面处理湿刻颗粒清洁光阻去除外延zui大臭氧产量：OG-5000-A 210g/hr OG-5000-B 150g/hr氧气纯度要求：6个9或更高氮气要求：5个9或更高进气流量：0.5-20slpm臭氧出口压力：15-40psi运行环境温度：5-35度冷却水温度：20+—3度冷却水流量：1-1.2gpm at 60psi冷却水品质：半导体级