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SENTECH ICP等離子沉積系統(tǒng)-SI 500D

是主流的半導體設備商，研發(fā)、制造和銷售良好的薄膜測量儀器（反射儀、橢偏儀、光譜橢偏儀）和等離子工藝設備（等離子刻蝕機、等離子沉積系統(tǒng)、用戶定制系統(tǒng)）。

SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設備，利用ICP高密度等離子源來沉積電介質(zhì)薄膜?？稍跇O低溫度下(< 100oC)沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 和SiOxNy薄膜。可以實現(xiàn)沉積薄膜厚度、折射率、應力的連續(xù)調(diào)節(jié)。

SI 500 D主要特點：

• 適用于8寸以及以下晶片

• 低溫沉積高質(zhì)量電介質(zhì)膜：80°C~350°C

• 高速率沉積

• 低損傷

• 薄膜特性 (厚度、折射率、應力) 連續(xù)可調(diào)

• 平板三螺旋天線式PTSA等離子源 (Planar Triple Spiral Antenna)

• SENTECH高級等離子設備操作軟件

• 穿墻式安裝方式

系統(tǒng)配置：