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restek电子检漏仪入口压力与显示值的关系研究

阅读:449发布时间:2021-10-28

  restek电子检漏仪通常由真空系统、质谱室及测量电路组成,其中核心为质谱室。质谱室又由离子源、分析器、收集器三部分组成。其一般的原理是将进入质谱室中的混合气体进行电离,形成具有一定能量的离子,这些离子由于质荷比的不同,在分析器中将按不同轨迹运动从而彼此分开,仅使氦离子在收集极上收集并最终放大显示。
 
  restek电子检漏仪在本质上讲可以看成是氦气原子的计数器。其无论输出显示的是电压值还是漏率值,虽然表现形式不一样,但这些显示值必将都与进入质谱室中的氦气原子的摩尔数是线性正比的。在有些文献上,也将检漏仪的输出显示值看成与进入质谱室中的氦分压成线性正比的。这在本质上是一致的,可以通过理想气体的状态方程进行简单的转换。在一般的氦质谱检漏仪中,被检件接在检漏仪的高真空侧(即检漏仪的质谱室),当被检件漏气或出气较大时,质谱室中的压力将超过仪器的最高工作压力,此时检漏仪就无法进行工作了,因此,实际工程中往往采用逆流检漏仪。逆流检漏仪是利用高真空泵的
 
  压缩比与被抽气体质量有关的原理来工作的。气体的质量越小,压缩比也就越小,因此逆扩散的示漏气体的分子数就越多,这些逆扩散的分子进入质谱室,最终形成了检漏仪的输出读数。现在工程实际中所使用的检漏仪几乎全是逆流检漏仪。
 
  restek电子检漏仪入口压力与显示值的关系:
 
  (1)当所测气体的浓度和温度固定时,检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;且该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性,只与检漏仪自身的参数有关。
 
  (2)通过调节检漏仪的入口压力来调节进入检漏仪的氦气量,从而可以测试检漏仪的线性,这就为测试检漏仪的线性提供了一种廉价而方便的方法。

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