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SMC小型2、3通电磁阀

小型2、3通电磁阀

|小型直动2通电磁阀 VDW

	?用于空气、中真空、水。 ?主体材质：Al、树脂（PPS）、C37、SUS。 ?有带快换管接头（树脂主体）的型号。 ?IP65。

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系列	阀形式	接管口径	孔口径
VDW10/20	N.C.	φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8	φ1～φ3.2

|水、空气用小型直动2/3通电磁阀 VDW

	※VDW10/20系列于2012年12月停产。　请选择NewVDW10/20系列。 ※VDW30系列于2015年7月停产。　请选择VX21系列。

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系列	阀形式	接管口径	孔口径 (mmφ)
VDW10/20/30	N.C.	M5～1/4 (8A)	1～4
VDW200/300	C.O.	M5～1/4（8A）	1～4

|水、空气用小型轻量2通电磁阀 VDW-XF

	?采用体积小、重量轻的树脂主体（PPS）。 ?IP65。 ?消耗功率：3W（标准）、0.5W（带节电回路）。

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系列	阀形式	接管口径	孔口径（mmφ）
VDW30/40-XF	N.C.	快锁P7，P8 φ4，φ6，φ8，φ10	1～6

|高速2通阀 SX10

	?高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。 ?长寿命 50亿次以上。 ?高频率 1200Hz。 ?薄型 9mm。 ?低功耗 4W。

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系列	流量	消耗功率 (W)	高动作频率 (Hz)
SX10	50	80 40 10 4	1200 1000 550 350
SX10	100	80 40 10 4	650 550 300 200
SX10	150	80 40 10 4	600 500 250 150

|干燥空气用先导式2通电磁阀 VQ

	?高頻率动作。　高速响应7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。 ?内置快换管接头，便于配管。 ?DIN连接　可对应防尘、防喷流型（IP65）。 ?用于工件的吹气、吹扫。 ?集装底座型号：VV2Q22，VV2Q32。

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系列	阀形式	接管口径	孔口径（mmφ）
VQ20	N.C.	φ6～φ12	3.4
VQ30	N.C.	φ6～φ12	4.8

|小型化学液用直动2?3通电磁阀 LVM

	?接触液体部分材质　主体／地盘：PEEK。　膜片：可选择EPDM，FKM，Kalrez®。 ?动作寿命1000万次以上（本公司实验条件下的值）。

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系列	阀构造	阀形式	孔口径（mmφ）
LVM09/090	膜片式直动式阀座（摇臂型）	N.C. N.O. 万向型	1.1
LVM11	膜片式直动式阀座	N.C.	1.5
LVM10/100	膜片式直动式阀座（摇臂型）	N.C. N.O. 万向型	1.4
LVM15/150	膜片式直动式阀座（摇臂型）	N.C. N.O. 万向型	1.6
LVM20/200	膜片式直动式阀座（摇臂型）	N.C. N.O. 万向型	2

|直动型2、3通电磁阀 LVMK20/200

	?低发尘、禁油、无金属。 ?使用流体：空气、水、脱离子水(纯水)、稀释液、洗净液。 ?分离构造　隔离密封垫将使用流体区域与电磁驱动部隔离。 ?简单配管。 ?防止液体积留。 ?不需要调节流量。

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系列	阀形式	配管方向	接触液体部分材质
LVMK	N.C. 万向型	下方配管横向配管	主体：PPS 密封件：EPDM, FKM

|隔膜阀　高纯度工艺气体用 AZ

	?用于精密洗净及洁净室组装。 ?全部产品均经过了氦气泄漏检测。 ?符合SEMI规格 ?采用方便作业的锻造主体。

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系列	形式	主体材质	配管连接	配管尺寸
AZ	气控型	SUS316L	面密封接头管子焊接	1/4'' 3/8'' 1/2
AZ	手动型	SUS316L	面密封接头管子焊接	1/4'' 3/8'' 1/2

|常闭型高真空电磁阀 XSA

	?低使用压力：1×10^-6Pa(abs) ?泄漏量：内部1.3×10^-9Pa?m³/s、外部1.3×10^-11Pa?m³/s。 ?有2种接头和内螺纹可选。 ?消耗功率：多削减25％。 ?质量：多减小18％　0.5kg→0.41kg。