VF-S2230-5DZ-02SMC先导式电磁阀

   动作原理
      旦手轮顺时针回转，设定弹簧力使膜片及主阀推下，
      VAC侧和SET侧接通，SET侧的真空度增加（向真空变化）。
      然后，SET侧的真空压力通过气路进入真空室，作用在膜片上方，
      与设定弹簧的压缩力相平衡，则SET侧的压力便被设定。
      若SET侧的真空度比设定值高（向绝
      对真空变化），设定弹簧力和真空室的SET侧压力失去平衡，膜片被上拉，
      则主阀芯关闭，大气吸入阀芯开启，大气流入SET侧，当设定弹簧的压缩力与SET侧
      压力达到平衡时，SET侧真空压力便被设定。

VF-S2230-5DZ-02SMC先导式电磁阀
      若SET侧的真空度比设定值（向大气压力变化），
      设定弹簧力和真空室的SET侧压力失去平衡，膜片被推下，则大
      气吸入阀芯关闭，主阀芯开启，VAC侧和SET侧接通，
      SET侧的真空度增加，
      设定弹簧的压缩力与SET侧压力达到平衡时，SET侧的真空压力便被设定。
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