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SMC减压阀特点
●体积小,重量轻。
● 比传统的精密减压阀IR200输出流量大。
● 比传统的精密减压阀IR200溢流流量大。
● 压力设定。
● 调节螺钉的齿间距由传统的0.75mm改为0.5mm。
● 安装方便,可用托架立安装或与现在的??槭焦俗楹显嗀F及AFM直接安装。
● 标准型也带面板安装。
● 先导排气口与主排气口分开。
● 可在洁净房使用(特注)。
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