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产品简介
详细介绍
桌面式半导体快速退火炉，RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火设备，标配三组工艺气体，可最大兼容6英寸晶圆Wafer。
桌面式半导体快速退火炉的产品优势
?红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；
?采用快速PID温控，可精准控制温度升温，保证良好的重现性和温度均匀性；
?采用平行气路进气方式，气体进出口设置在晶圆表面，避免退火过程中冷点产生，保证良好的温度均匀性；
?大气与真空处理方式均可选择，实现进气前气体净化处理。
晟鼎与华南理工大学联合创建等离子技术联合实验室，所有产品系列皆通过CE认证。