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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

20×,50×,焦距4,10mm, 345nm-700nm波長近紫外物鏡M-iPLAN-APO NUV

Shibuya近紫外物鏡M-iPLAN-APONUV系列，包含20×、50×等倍率，焦距4-10mm，適用于345nm-700nm波長范圍，是專為近紫外激光加工設(shè)計(jì)的高NA無限遠(yuǎn)補(bǔ)償物鏡，近紫外激光物鏡也可用于明視場觀察。近紫外用物鏡系列采用無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，以近紫外到可見光進(jìn)行校正設(shè)計(jì)， NUV物鏡NUVHD型號校正范圍達(dá)345nm-700nm，近紫外校正物鏡還可應(yīng)用于532nm脈沖激光，具備高分辨率規(guī)格，齊焦距離為95mm。近紫外用物鏡其相較于西格瑪光機(jī)的近紫外物鏡具有較高的經(jīng)濟(jì)適用性。

近紫外物鏡(M iPLAN APO NUV系列)是近紫外激光加工用的高NA無限遠(yuǎn)補(bǔ)償物鏡，也可用況輯于明視場觀察。Shibuya近紫外校正物鏡具有以下特點(diǎn)：

-355物鏡是無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)

-近紫外用物鏡以近紫外到可見光進(jìn)行校正設(shè)計(jì)。

-NUV HD:345nm~700nm校正設(shè)計(jì)

-近紫外校正物鏡也可以使用532nm脈沖激光

-355物鏡有高分辨率規(guī)格

-近紫外激光物鏡的齊焦距離為95mm

Shibuya近紫外物鏡M-iPLAN-APONUV系列技術(shù)參數(shù)表：

型號	倍率	數(shù)值孔徑NA	工作距離WD	焦距F	分辨率R	焦點(diǎn)深度DOF	(φ24目鏡)(mm)	場(1/2型) (4.8×6.4mm)
M-iPLAN-APO NUV20	20倍	0.4	17.15mm	10mm	0.69μm	±1.7μm	φ1.25mm	0.24×0.32mm
M-iPLAN-APO NUV50	50倍	0.43	14.81mm	4mm	0.64μm	±1.5μm	φ0.5mm	0.1×0.13mm
M-iPLAN-APO NUV-HD50	50倍	0.7	3.5mm	4mm	0.39μm	±0.6μm	φ0.5mm	0.1×0.13mm