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上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： burkert流量傳感器,burkert電導(dǎo)率變送器,德國(guó)齒輪流量計(jì) |
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公司信息
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- 上海市普陀區(qū)中江路889號(hào)曹楊商務(wù)大廈1501-1502
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Brooks流量控制器GF80系列有現(xiàn)貨
2022-11-4 閱讀(502)
上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司是工廠、物流中心自動(dòng)化輸送線(xiàn)設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試的專(zhuān)業(yè)工程公司。公司位于中國(guó)經(jīng)濟(jì)中心上海，科研力量雄厚、機(jī)械制造業(yè)發(fā)達(dá)。經(jīng)多年的發(fā)展，公司不僅對(duì)傳統(tǒng)產(chǎn)品進(jìn)行不斷完善、革新，精致的零件加工，細(xì)節(jié)的關(guān)注，使我們的產(chǎn)品更安全、經(jīng)濟(jì)、穩(wěn)定、美觀，更加自動(dòng)化、人性化。
*高純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。
現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿(mǎn)足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專(zhuān)為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。
應(yīng)用
硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用
適用于對(duì)濕度或氧氣敏感的過(guò)程
高純度流路可最大限度降低過(guò)程污染，提高產(chǎn)率
超快速響應(yīng)能力
參數(shù)
流體類(lèi)型 氣體
流量范圍-滿(mǎn)量程容量 06 sccm - 300 slpm
精度 SP ±1%
最大壓力 150 psig
溫度 50℃
以上內(nèi)容由上海維特銳提供；詳情請(qǐng)點(diǎn)擊：Brooks流量控制器GF80系列有現(xiàn)貨
