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英格海德分析技術(shù)有限公司

當前位置:> 供求商機> IMP-EPD-離子蝕刻探針-終點檢測儀

[供應]IMP-EPD-離子蝕刻探針-終點檢測儀

貨物所在地:國外

產(chǎn)地:英國Hiden公司

更新時間:2025-03-17 21:00:07

有效期:2025年3月17日 -- 2025年9月17日

已獲點擊:538

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IMP(Ions Milling Probe)離子蝕刻探針-終點檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質(zhì)譜儀,*的專業(yè)檢測終點儀器。用于離子蝕刻控制以及優(yōu)化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。

離子蝕刻探針-終點檢測儀

應用:
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點:
· 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計數(shù)檢測器
· 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE,平行數(shù)字數(shù)據(jù)I/O,RS232腳本通訊

 

應用:
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點:
· 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計數(shù)檢測器
· 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE,平行數(shù)字數(shù)據(jù)I/O,RS232腳本通訊

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