仪器简介：

HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的分析。 该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。

主要特点：

1、钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命

2、抗污染离子源护罩

3、双法拉第/ channelplate电子倍增器

HALO 201 MBE 残余气体分析四极质谱仪技术规格：

·质量数范围：1～300 amu

·扫描速度：100amu/s

·小扫描步阶：0.01amu

·灵敏度：0.1 ppm～1ppm

·稳定性：24h以上，峰高变化小于±0.5%

·小检测分压：2 x 10-13 mbar

·大工作压力：1 x 10-4 mbar