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一、ALICAT雙閥壓力控制器應(yīng)用流程圖

二、ALICAT雙閥壓力控制器產(chǎn)品描述

PCD系列雙閥壓力控制器利用自帶的進(jìn)氣閥和泄壓閥快速穩(wěn)定地控制密閉容器內(nèi)的壓力，Alicat 的設(shè)計(jì)使其不但可將過程氣體引入腔體內(nèi)，亦可在腔體壓力過高時(shí)自行泄壓。該系列設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，如：半導(dǎo)體生產(chǎn)及生物制藥檢測等。 PCD系列雙閥壓力控制器是專為密閉容器設(shè)計(jì)、快速、精確、可重復(fù)、性價(jià)比*的壓力控制設(shè)備?？刂泼荛]容器內(nèi)壓力的傳統(tǒng)方法是通過一臺(tái)壓力控制器(或開關(guān))和一個(gè)排氣口進(jìn)行，此方法雖然可行，但往往導(dǎo)致了昂貴氣體的浪費(fèi)、重復(fù)性差及精度差。Alicat 的PCD雙閥壓力控制器通過改良的PID回路控制，使其可對(duì)兩臺(tái)閥門進(jìn)行控制且僅允許其中一臺(tái)處于開啟狀態(tài)，這樣的設(shè)計(jì)可使密閉容器內(nèi)壓力快速精確到達(dá)設(shè)定值的同時(shí)亦將氣體排放控制在小。

三、ALICAT雙閥壓力控制器產(chǎn)品優(yōu)勢

響應(yīng)速度

通過改良額的PID回路控制，PCD系列壓力控制器能迅速精確地到達(dá)一個(gè)設(shè)定值。由于PCD采用與PC單閥系列類似的控制計(jì)算，測得其控制速度小于0.1秒。

降低成本

PCD系列雙閥壓力控制器僅允許一臺(tái)閥門處于開啟狀態(tài)，并自動(dòng)將PID回路控制切換至相應(yīng)閥門。通過同時(shí)開啟并關(guān)閉一臺(tái)閥門，大大降低了為保持一個(gè)設(shè)定壓 力值而產(chǎn)生的氣體排放，即減少了氣體浪費(fèi)。改用PCD系列雙閥壓力控制器，可為購買罐裝氣體的用戶每年節(jié)省數(shù)千美元成本。

控制精度

PCD系列利用改良型PID回路控制及兩臺(tái)比例控制閥，使其標(biāo)準(zhǔn)控制精度可達(dá)±0.25% F.S.，另有高精度供選配。改良型PID回路及比例控制模式不僅僅提升了密閉或接近密閉系統(tǒng)內(nèi)壓力控制的精度，同時(shí)也消除了其他使用壓力開關(guān)或開閉閥的壓力控制器的盲區(qū)。

可重復(fù)性

通常模塊化設(shè)計(jì)的工藝設(shè)備，其所用儀器須是可重復(fù)的。PCD系列雙閥壓力控制器有著驚人的可重復(fù)性: ±0.08% F.S.