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CPC-12/Plus-CIF中試型等離子清洗機(jī)
  • CPC-12/Plus-CIF中試型等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間:2024-08-05 11:48:40

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CIF推出全新一代等離子清洗機(jī)CPC系列桌面型、可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件的等離子體清洗設(shè)備,幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價(jià)比高,易維護(hù),處理快速高效,特別適合于大學(xué),科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

u 可模擬生產(chǎn)條件,便于小批量中試生產(chǎn)。

u 桌面型,占用空間小。

u 性能穩(wěn)定,操作簡便,使用成本低,易于維護(hù),性價(jià)比高。

u 有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應(yīng)用。

u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進(jìn)行清洗和改性。

等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

CPC-12

CPC-12plus

艙體尺寸

H120xΦ370mm  

H120xΦ370mm

艙體容積

12.8L

12.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

射頻功率

10-300W可調(diào)

10-300W可調(diào)

氣體控制

質(zhì)量流量計(jì)(MFC)(標(biāo)配單路,可選雙路)

最大處理尺寸

Φ370mm圓盤

產(chǎn)品尺寸

L618xW520xH465mm

包裝尺寸

L750xW640xH570mm

時(shí)間設(shè)定

1-99分59秒

真空泵

抽速約8m3/h

氣體穩(wěn)定時(shí)間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

AC220V 50-60Hz  






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