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CIF-SEM-掃描電鏡等離子清洗機(jī)
  • CIF-SEM-掃描電鏡等離子清洗機(jī)

貨物所在地:北京北京市

更新時(shí)間:2024-08-05 13:45:25

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CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用雙等離子清洗源設(shè)計(jì),自動(dòng)切換,一機(jī)多用,清洗快速高效、低等離子體轟擊損傷,核心部件采用品牌,保證設(shè)備優(yōu)異的質(zhì)量和穩(wěn)定性。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?

CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)

CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用雙等離子清洗源設(shè)計(jì),自動(dòng)切換,一機(jī)多用,清洗快速高效、低等離子體轟擊損傷,核心部件采用品牌,保證設(shè)備優(yōu)異的質(zhì)量和穩(wěn)定性。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 雙等離子清洗源

  • 原位清洗

  • 快速高效

  • 即插即用

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-SEM

法蘭接口

KF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

兩種等離子體清洗源,原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源,自動(dòng)匹配器

13.56MHz等離子RF電源,5-100W可調(diào)

氣體控制

標(biāo)配MFC流量計(jì)(N2)/1只

真空互鎖

采用美國(guó)MKS數(shù)字真空計(jì),和電磁閥安全互鎖

冷卻方式

風(fēng)冷

控制方式

7寸全彩觸摸屏控制,互動(dòng)操作界面

質(zhì)量保證

二年免費(fèi),終身維護(hù)

電源/功率

220V,50/60Hz,200W

可選配件

制氫(氧)機(jī)200SCCM,MFC流量計(jì)50SCCM(H2、O2、Ar)


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