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既能夠檢測(cè)實(shí)裝基板，又可檢測(cè)小型電子部件的高分辨率X射線CT系統(tǒng)——Xslicer SMX-6010
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近年來(lái)，隨著電子設(shè)備不斷向輕、薄發(fā)展，所使用的零部件也在不斷變小，隨之而來(lái)，需要能夠觀察和解析這些高性能零部件的機(jī)器。島津Xslicer SMX-6010（圖1），就是能夠?qū)Ξa(chǎn)品及零部件內(nèi)部進(jìn)行非破壞檢查的設(shè)備。這款設(shè)備的標(biāo)配中的傾斜CT（以下簡(jiǎn)稱PCT），通過(guò)對(duì)雙面實(shí)裝基板進(jìn)行斷層掃描，獲得CT圖像，可以觀察到焊接面的孔隙和內(nèi)層布線情況。但是，PCT雖然可以得到平面斷層像，但由于厚度方向數(shù)據(jù)受到限制，所以無(wú)法獲得完全的3D圖像。在此基礎(chǔ)上，島津開發(fā)了Xslicer SMX-6010用的豎直CT單元（以下簡(jiǎn)稱VCT）。該機(jī)器的特點(diǎn)：既能夠拍攝PCT，又可選配VCT。
關(guān)于Xslicer SMX-6010的CT功能
Xslicer SMX-6010搭載了1微米的超微小焦點(diǎn)X射線管球和300萬(wàn)像素的高分辨率平板探測(cè)器，通過(guò)島津獨(dú)立開發(fā)的HDR（高動(dòng)態(tài)范圍）處理，可以取得高精細(xì)且更清晰的透視圖像。PCT使檢測(cè)器傾斜45度或60度，旋轉(zhuǎn)360度，可獲得平面斷層圖像（圖2左）。
通常在CT攝影中，為了使工件旋轉(zhuǎn)軸與X射線照射方向垂直，為了工件不碰撞到X射線源，需要降低圖像放大率，但PCT是水平放置工件進(jìn)行攝影，更適合拍攝板狀工件。
圖2 PCT和VCT掃描方式的差異
由于接收器以規(guī)定的角度旋轉(zhuǎn)，雖然可以得到水平方向的斷面圖像，但是重建所需的部分信息會(huì)缺失，特別是厚度方向的斷面圖像上會(huì)出現(xiàn)虛像（偽影），在三維顯示的情況下可能與實(shí)際形狀不符。VCT是工件的旋轉(zhuǎn)軸與X射線照射方向垂直，因此可獲得完整的數(shù)據(jù)（圖3）。但是，如果工件是平板形狀，為避免旋轉(zhuǎn)時(shí)工件碰撞到射線源，所以必須降低放大率。
圖3 PCT和VCT圖像的區(qū)別
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