特征X射線及其衍射X射線是一種波長(zhǎng)（0.06-20nm）很短的電磁波，能穿透一定厚度的物質(zhì)，并能使熒光物質(zhì)發(fā)光、照相機(jī)乳膠感光、氣體電離。用高能電子束轟擊金屬靶產(chǎn)生X射線，它具有靶中元素相對(duì)應(yīng)的特定波長(zhǎng)，稱(chēng)為特征X射線。如銅靶對(duì)應(yīng)的X射線波長(zhǎng)為0.154056 nm。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀是半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備，用于： 材料科學(xué)和納米技術(shù)，半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制，可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如： 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping， 反射率和薄膜相分析，殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析， X'Pert PRO MRD/ XL 滿(mǎn)足半導(dǎo)體、LED、薄膜和工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿(mǎn)足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析，并有精密的自動(dòng)晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的的分析手段，LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀技術(shù)參數(shù)：

1，功率：3kW
2，測(cè)角儀重現(xiàn)性：0.0001度
3，測(cè)角儀類(lèi)型：T-2T
4，五維樣品臺(tái)