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关键技术
实现高精度测量的一次离子枪。
三重离子束聚焦质量分析器，复杂形貌样品的高精度分析。
TOF-SIMS自动多样品测试。
*的离子束技术。
通过平行成像MS/MS进行分子结构分析。
可靠的远程访问功能，即使在远离设备的情况下也能进行“测量"和“诊断"。
多样化配置。
实现高精度测量的一次离子枪
先进的离子束技术，实现高空间分辨率
PHI nanoTOF3 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分 析：在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于500 nm；在高空间分 辨模式下，其空间分辨模式优于50 nm。通过结合高强度离子源、 高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量。
三重离子束聚焦质量分析器(TRIFT)，复杂形貌样品的高精度分析
三重离子束聚焦质量分析器，适用于宽带通能量、宽立体接受角度、各种形貌样品分析
主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞出，特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品，即使相同的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异，因此导致质量分辨率变差，并对谱峰形状和背景产生影响。
TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行校正，保证相同二次离子的飞行时间一致，所以TRIFT兼顾了高质量分辨率和高检测灵敏度优势，对于不平整样品的成像可以减少阴影效应
TOF-SIMS自动多样品测试
Queue Editor实现多样品自动测试
您可以轻松创建和编辑包括质谱分析、成像分析和深度剖析在内的所有测试方案。测试方案中除了测试条件外，还包括测试位置的信息。在您创建测试序列后，程序可根据测试方案自动进行多样品多点分析。
全自动样品传送系统
PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表现优异的全自动样品传送系统：最大样品尺寸可达100 mmx100 mm，而且分析室标配内置样品托停放装置；结合分析序列编辑器（Queue Editor）， 可以实现对大量样品的全自动连续测试。
*的离子束技术
采用新开发的脉冲氩离子枪，获得专.利的自动荷电双束中和技术
TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面通常有荷电效应。PHI nanoTOF3 采用自动荷电双束中和技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氩离子束，可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和，无需额外的人为操作。
标配离子枪新增FIB(Focused Ion Beam)功能
在PHI nanoTOF3 中，液态金属离子枪增加了FIB处理新功能，
可以使用单个离子枪进行横截面处理和横截面TOF-SIMS分析。
通过操作计算机，可以快速轻松地完成从FIB处理到TOF-SIMS
分析的全过程。此外，也具备冷却条件下FIB加工能力。
通过平行成像MS/MS进行分子结构分析
MS/MS平行成像同时采集MS1/MS2数据（专.利）
在TOF-SIMS测试中，MS1质量分析分析器接收从样品表面产生的所有二次离子碎片，对于质量数接近的大分子离子，MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2，对于特定离子进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片，MS2谱图可以实现对分子结构的进一步鉴定。
PHI nanoTOF3 具备串联质谱MS/MS平行成像功能，可以同时 获取分析区域的MS1和MS2数据，为分子结构的精准分析提供了 强有力的工具。
可靠的远程访问功能，即使在远离设备的情况下也能进行“测量"和“诊断"
远程访问实现对仪器的远程控制
PHI nanoTOF3 允许通过局域网或互联网访问仪器。只需将样品 台放入进样室，就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进 行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断*。
*如需远程诊断，请联系我们的客户服务人员。
多样化的配置
串联质谱
氩团簇离子源
氩/氧气离子源
铯离子源
碳60离子源
样品台高/低温模组
真空传输管
惰性气氛手套箱
观察曲面样品专用样品托
通氧模组
聚焦离子束
聚焦离子束软件
离线数据处理软件
静态质谱图库
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