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干式真空泵很早就涌現(xiàn)了,但沒(méi)有明確的界說(shuō)。就接替油封式電泵來(lái)說(shuō),正常通用的言論是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力規(guī)模內(nèi)作業(yè);在泵的抽氣旋道(如泵腔)中,使不得運(yùn)用任何廢油和液體、排氣口與大氣相通,能陸續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵(也稱為無(wú)油真空泵)。

 

當(dāng)初商場(chǎng)上提供的干式泵品種很多，就其根本原理來(lái)分,只有兩類,即:

 

①體積式的無(wú)油真空泵,比如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往返式鞲鞴泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力正常為0.1～10Pa,抽速為0.01～0.04m3ös。

 

②動(dòng)量傳輸式的無(wú)油真空泵,如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相接,在陸續(xù)流狀態(tài)下壓縮比擬高。它是一種粗抽泵,可從大氣壓抽到1022Pa。在構(gòu)造上采納徑向流和周向流泵的復(fù)合式構(gòu)造,多級(jí)串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa,抽速為0.02～0.15m3ös。牽引型干式泵也屬于動(dòng)量傳輸式的干式泵。

 

該署干式泵和油封式電泵相比,達(dá)成同樣的極限壓力,其殘余氣體成一則全然相反,經(jīng)綜合后果明,油封泵的殘余氣體,CnHm氣體(碳?xì)鋸?fù)合物氣體)為其重要成份,而干式泵的殘余氣體為大氣的組成成份。這就證實(shí)了干式泵的抽氣不復(fù)有油的凈化了。

 

有些干式泵在構(gòu)造設(shè)計(jì)上,如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等仍在運(yùn)用光滑油,也有用分解油,如PFPE油和其油脂等,并采取定然的措施使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在,寬大來(lái)說(shuō)不是全無(wú)油的泵,但經(jīng)綜合,這種分解油的成份在泵出口處是微不足道的,并無(wú)莫須有。