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賽默飛世爾環(huán)境與過程

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APIX 系列超高純電子氣質(zhì)譜分析儀產(chǎn)品彩頁(yè)

閱讀：297 發(fā)布時(shí)間：2022-02-14

結(jié)合了工藝先進(jìn)的電子電路和功能強(qiáng)大的過程分析軟件、大氣壓離子化質(zhì)譜儀（API-MS）使得 Thermo Scientific APIX 生產(chǎn)線提供的分析儀系統(tǒng)成為半導(dǎo)體和電子工業(yè)大宗氣體連續(xù)質(zhì)量控制的又一選擇。

API-MS 為傳統(tǒng)質(zhì)量控制技術(shù)提供了一個(gè)物有所值的替代方案，可以監(jiān)測(cè)各種大宗氣體中一系列潛在雜質(zhì)濃度，同時(shí)實(shí)現(xiàn)比氣體任何技術(shù)更低的檢測(cè)限（高達(dá) 100 倍）。

APIX 產(chǎn)品線提供了更多完整的雜質(zhì)分析，包括：H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4、Kr 和 Xe，以及其他需要測(cè)量的雜質(zhì)。隨著 300mm 晶元制造的出現(xiàn)，需對(duì)氣體質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行更嚴(yán)格的雜質(zhì)控制，該技術(shù)將繼續(xù)成為 ppt 水平檢測(cè)的重要方法。

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