气体配比装置

主要特点

高清分辨率的真彩电容触屏，操作作简单，使用方便

进口品牌高精度质量流量控制器，配气输出精度高

PLC可编程控制器,可扩展性强

可定制多种组份气体通道

技术指标

气体稀释精度：≤±1％

出气流量：0-10L/min（可定制）

响应时间：≤1 sec

预热时间：＜30 min

工作环境温度：5℃～45℃

供电：220VAC 50Hz

外形尺寸：深420mm×宽420mm×高220mm

配气稀释比：可选 1000:1、500:1、200:1、100:1、50：1

仪器重量： Kg

气体配比装置

工作原理：

系统用户参数及指令输入和状态参数输出显示均由触摸显示屏完成。用户通过触摸屏将参数输入系统，系统根据用户设定的参数计算出各路对应的控制量去控制调节质量流量控制器(MFC)的输出。一方面MFC收到系统给它的控制量后调节自身气路输出阀门开启幅度，另一方面MFC实时检测通入自身内的真实气体流量，并根据该气体流量实时输出一个与该气体流量成线性正比的反馈信号。系统根据各路该反馈信号获得实际的气体输出流量进而计算实际输出的气体浓度。各通道MFC输出的气体一同汇入气体混合器进行充分混合后通过出气口输出。