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爱德华EH系列机械增压泵已经过鉴定，可以在潜在易爆气体环境中使用。机械增压泵在相对较低的压
力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠，从而减少总体抽气时
间。真空泵在使用一定的时间后，（1）会出现泵无法启动（2）真空泵达不到极限真空（3）真空泵
的抽速太慢（4）真空泵工作中的温度过高（5）真空泵的噪音过大（6）真空泵漏油，这就需要维修
更换耗材。
技术保证：拥有10年以上各类进口真空泵维修经验及专业治具。
质量保证：*代理商，*真空泵维修配件、耗材。
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Edwards爱德华半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造集成解决方案提供商，是工业、制
药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术*。 这些泵结
构紧凑，使用时非常安静，具备优良的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需
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