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東莞比其爾真空機電設(shè)備有限公司

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您現(xiàn)在的位置: 東莞比其爾真空機電設(shè)備有限公司>>英國Edwards愛德華真空泵>>愛德華真空泵維修>> IH80/IH160半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160
IH80/IH160半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160
參考價: 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • IH80/IH160 產(chǎn)品型號
  • Edwards/英國愛德華 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 東莞市 所在地

訪問次數(shù):4537更新時間:2025-03-05 13:39:02

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產(chǎn)品簡介
泵軸位置 邊立式 輸送介質(zhì) 其他
葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池
半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160:Edwards高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
產(chǎn)品介紹

半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

Edwards高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽

命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供

了高可靠性。

功能和優(yōu)勢:

優(yōu)化了設(shè)施消耗。

無需預(yù)防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降

低了總體占地面積。

技術(shù)參數(shù):

極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr  / 1 Pa

進氣口連接:ISO63

出口連接:NW40

重量:244 kg

極限功率輸入:3.1 kW

電機額定功率:5.0 kW

1、確認(rèn)問題(如有需要,會在24小時內(nèi)派出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場確認(rèn)真空泵故障)

2、故障原因(比其爾確認(rèn)故障原因后,擬定出具體維修方案與周期、甲乙兩方簽定協(xié)議后,甲方

安排人員上門提泵,針對珠三角地區(qū)客戶)

3、真空泵拆開報價(為了讓客戶更清晰的知道維修費用,比其爾會給出詳細的維修清單及費用)

4、確認(rèn)維修(客戶同意維修費用后開始維修,維修配件為原裝正品,維修后所換配件全部還客

戶)

5、試機確認(rèn)(確保維修過后達到的真空度和穩(wěn)定性能,真空度達到出廠標(biāo)準(zhǔn))

6、送泵安裝(在試機OK后24小時內(nèi),客戶可當(dāng)初驗收真空泵,看試機運轉(zhuǎn)效果)

7、定期回訪(比其爾承諾,維修保修服務(wù);統(tǒng)一質(zhì)保修6個月)

半導(dǎo)體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160



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