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· 低压等离子系统，可对微细粉末及颗粒状材料进行表面处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 多种转筒可选用，设备部件不易被粉末污染
· 处理效果均匀且回收率高
· 处理量较大,可对金属与非金属粉体材料进行处理
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
型号 | FEMTO | PICO | NANO | |
控制方式 | 手动型/自动型 | |||
腔体材 | 铝合金 | |||
腔体尺寸 | W110 x D300 x H120mm 约4L | W150 x D325 x H160mm 约7L | W240 x D420 x H240mm 约7L | |
电极 | 转筒专用电极 | |||
玻璃转筒 | 250ml | 1000ml | 5000ml | |
金属转筒 | ?75 x L220mm/1L | ?110 x L250mm/2L | ?210 x L360mm/12L | |
流量计 | 针阀流量计/MFC流量计 | |||
真空压力计 | 皮拉尼 | |||
发生器 | 40 kHz:0-100W 13.56 MHz: 0-100W 13.56 MHz: 0-300W |
100KHz:0-500W 13.56 MHz:0-100W 13.56MHz:0-300W | 100kHz:0-500 W 80KHz:0-1000W 13.56MHz:0-300W 13.56MHz:0-600W | |
外形尺寸 | W | 310-560mm | 560mm | 560mm |
D | 420-600mm | 600-750mm | 600mm | |
H | 330-860 mm | 460-860mm | 600-860mm | |
电源 | AC220V 50Hz 16A | |||
重量 | 40kg | 50kg | 70kg | |
真空泵 | 排气速度大于4m3/H | 排气速度大于7m3/H | 排气速度大于15m3/H | |
气体调节阀 | 慢速进气/抽气，调节气体速度 | |||
备注 | 相关配置可根据需求进行选择 | |||
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